▷ 반도체 공정에 초순수 국내 기술로 생산·활용… 공급망 자립 기반 강화기후에너지환경부(장관 김성환)는 5월 19일 에스케이(SK)실트론 구미사업장(경북 구미 소재)에서 '고순도 공업용수(초순수) 생산 국산화 기술개발 사업'의 성과물인 초순수 실증설비(플랜트)의 기술이전을 위한 성과 활용 협약식을 개최한다고 밝혔다.초순수(Ultra Pure Water)*는 물속의 불순물을 극미량 수준까지 제거한 물로, 반도체 표면의 오염물질을 씻는 데 필수적으로 사용되는 핵심 공정용수다.
수중의 이온물질 농도를 1ppt(1조분의
- 1) 이하, 용존산소 등 기체 농도를 1ppb(10억분의
- 1) 이하 수준으로 관리이 용수는 국내 반도체, 디스플레이, 이차전지, 바이오 등 첨단산업 전반에 필수적인 기반 자원이나, 최고난도의 수처리기술이 요구되어 그간 일본, 미국 등 해외기업이 생산 기술을 주도해 왔다.기후에너지환경부는 이러한 기술 의존도를 낮추고 국내 물산업 경쟁력을 강화하기 위해 2021년부터 초순수 생산기술 국산화 사업을 추진해 왔다. 설계·시공·운영 전 과정에 국내 기술이 적용된 초순수 실증설비는 수요처인 에스케이실트론 구미사업장에 설치하여 그 성능을 실증했다. 유기물 제거(자외선 산화장치), 용존산소 제거(탈기막), 이온제거 및 수질 고도화(이온교환수지) 등 초순수 제조의 핵심공정에 국내기업이 개발한 주요 장치 및 소재를 적용하여 장기간 운영 실적을 확보했다.이번 기술이전으로 생산된 초순수는 에스케이실트론 구미사업장의 반도체용 웨이퍼* 생산공정에 공급된다. 이는 국내 설계 기술로 생산된 초순수가 실제 반도체 제조공정에 공급되는 최초 사례로, 국내기업의 현장 적용 실적 확보와 함께 초순수 시장 진입 기반을 마련했다는 점에서 의미가 크다.* 반도체 칩과 전자회로를 제작하기 위해 사용하는 얇은 원형의 실리콘 판, 반도체 핵심 소재로, 극미량 불순물까지 엄격하게 관리되는 초고순도 공업용수가 필수적으로 요구또한, 이번 성과를 통해 그간 해외 기술에 의존해 온 초순수 분야의 공급망