반도체 공정 핵심 EUV 장비, 국내 도입 최대 25일 빨라진다.- EUV 장비 검사 소요기간이 현행34일 → 개선9일 단축 전망 -- 「고압가스 안전관리법 시행령」 일부개정안 국무회의 의결 - 정부가 반도체 핵심 공정에 사용되는 EUV(극자외선) 장비의 국내 도입 절차를 대폭 간소화한다. 이에 따라 삼성전자·SK하이닉스 등 국내 반도체 기업들은 첨단 생산라인 구축에 필수적인 EUV 장비 도입 시 검사 등 소요기간이 기존 34일에서 9일로 최대 25일 단축될 전망이다.
산업통상부(장관 김정관, 이하 산업부)는 6.2(화) 국무회의에서 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 고압가스 일반제조시설이 아닌 '특정설비' 기준을 적용하도록 하는 것을 주요내용으로 하는「고압가스 안전관리법 시행령」일부개정안이 의결됐다고 밝혔다. 이번 제도 개선으로 EUV 장비 도입 기간은 장비당 최대 25일 단축되고, 해외 공인검사기관 내압·기밀 검사비용도 장비당 약 5억원 절감될 것으로 예상된다.
이를 통해 국내 반도체 기업들이 첨단 제조장비를 적기에 도입하고 신속히 가동함으로써 우리 반도체 산업의 초격차 유지에 기여할 것으로 기대된다. EUV 장비 검사절차 개선 전후 비교 구 분 검사 절차 소요기간 현행 제조시설▶기술검토(15일)▶허가(5일)▶중간검사*(7일)▶완성검사(7일)▶34일 개선 특정설비(제품)▶기술검토(2일)▶허가(5일)▶생 략▶완성검사(2일)▶9일.
중간검사 : 해외 공인검사기관의 내압기밀 검사로 장비당 약 5억원 소요그간 반도체 공정에 필수적인 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관 및 장치가 포함되어 현행 법령상 '고압가스 제조설비'로 분류되어 왔다. 이에 따라 EUV 장비 설치시마다 기술검토와 검사를 받아야 했고, 이 과정에서 장비 도입이 지연되고 기업 부담이 발생한다는 현장의 의견이 제기되어 왔다. 산업부는 제도 개선을 위해 반도체 업계와 여러 차례 협의를 거쳐 의견을 수렴하고, 글로벌 안전기준과 국내 안전관리 체계 간 정합성을 면밀히 검토하여 EUV 장비를