반도체·디스플레이 제조업종 유해화학물질 취급시설 설치 및 관리에 관한 고시 제11조 (배출설비 및 처리설비)

배출설비 및 처리설비 설치에 관한 기술기준은 다음 각 호와 같다.1. 유해화학물질의 증기 또는 미분이 체류할 우려가 있는 공급ㆍ생산설비(다만, 「반도체ㆍ디스플레이 제조업종 취급시설 설치 및 관리에 관한 고시」 제정 이전 착공한 조정ㆍ분배설비는 제외한다)에는 배출설비를 설치하여야 한다. 다만, 밀폐설비이거나, 건축물의 목적상 배출설비를 설치할 수 없는 경우이거나, 다른 법령에서 정하는 기준에 따라 강제로 증기 또는 미분을 배출할 수 있는 배출설비를 설치한 경우에는 제외한다.2. 유해화학물질 취급시설의 이상 운전으로 유해화학물질이 외부로 방출될 경우에는 저장ㆍ포집 또는 처리설비를 설치하여 안전하게 회수할 수 있도록 하여야 한다.3. 유해화학물질을 폐기ㆍ처리 또는 방출하는 설비를 설치하는 경우에는 자동으로 작동될 수 있는 구조로 하거나 원격 조정할 수 있는 수동조작구조로 설치하여야 한다.4. 냉각ㆍ분리ㆍ흡수ㆍ흡착ㆍ소각ㆍ폐수처리 등의 방법으로 유해화학물질의 부산물, 흄, 포집가스 또는 폐수 등을 폐기ㆍ처리하는 공정은 유해화학물질이 외부로 방출되지 아니하도록 한다.5. 안전밸브 등으로부터 배출되는 유해화학물질은 연소ㆍ흡수ㆍ세정(洗淨)ㆍ포집(捕集) 또는 회수 등의 방법으로 처리해야 한다. 또한, 유해화학물질 취급시설을 설치ㆍ운영하는 자는 다음 가목부터 마목까지 중 어느 하나에 해당하는 경우에는 배출되는 유해화학물질을 안전한 장소로 유도하여 처리해야 한다. 다만, 바목의 경우는 배출되는 유해화학물질을 안전한 장소로 유도하여 외부로 직접 배출할 수 있다.가. 배출물질 연소ㆍ흡수ㆍ세정ㆍ포집 또는 회수 등의 방법으로 처리할 때에 파열판의 기능을 저해할 우려가 있는 경우나. 배출물질을 연소처리할 때에 유해성기체를 발생시킬 우려가 있는 경우다. 고압상태의 유해화학물질이 대량으로 배출되어 연소ㆍ흡수ㆍ세정ㆍ포집 또는 회수 등의 방법으로 완전히 처리할 수 없는 경우라. 공정설비가 있는 지역과 떨어진 인화성 기체 또는 인화성 액체 저장설비에 안전밸브 등이 설치될 때에 저장설비에 냉각설비 또는 자동소화설비 등 안전상의 조치를 하였을 경우마. 그 밖에 배출량이 적거나 배출 시 급격히 분산되어 재해의 우려가 없으며, 냉각설비 또는 자동소화설비를 설치하는 등 안전상의 조치를 하였을 경우바. 공정 특성상 배출되는 유해화학물질을 처리할 수 없으며 처리공정 설치로 인하여 위험성이 증대될 우려가 있는 경우